请先提供产品规格书！

西部科学城SEMI标准认证服务平台的承接单位“中科芯网（北京）检测技术有限公司”拥有国际最具有经验的SEMI认证团队，具备SEMI认证标准中涉及的实验室和相关测试设备，能够针对国内外半导体制程设备、工艺及材料等方面提供SEMI S2、S6、S8、S22等一站式认证解决方案服务，帮助国内外客户开展SEMI认证工作并获得证书。

平台认证标准范围

平台重点针对S系列标准提供认证解决方案和一站式服务，主要包括S2，S6，S8，S22，S26的测试验证服务，助您开拓展国内外半导体市场。同时提供F47电压暂降咨询和测试

平台认证产品类型

清洗机产品、特气柜产品、机械手产品、PVD及磁控溅射产品、离子注入机台、PECVD系列、刻蚀机产品、氧化炉产品、工业冷水机产品、退火炉系列、工业物料搬运系统、长晶炉系列、化学机械减薄与抛光系列、尾气处理系列等

SEMI F47 介绍

F47 主要适用设备

（1）主要制程设备

• Etch equipment (Dry & Wet)

• Film deposition equipment (CVD & PVD)

• Thermal equipment

• Surface prep and clean equipment

• Photolithography equipment (Scanner Stepper & Tracks)

• Ion implant equipment

• Metrology equipment

• Automated test equipment

• Chemical mechanical polishing/planarization equipment

（2）附属设备

• Power supplies

• Radio frequency generators and matching networks

• Ultrasonic generators

• Computers and communication systems

• Robots and factory interfaces

• AC contactor coils and AC relay coils

• Chillers and cryo pumps

• Pumps and blowers

• Adjustable speed drives

电压暂降

单相设备：L-N

三相设备：L123-N L123-L321

simultaneous sags on all three phase-to-phase pairs are not required.

电压中断

三相设备：三相同时

测试设备

PSL  IPC-480V-200A