TEM制样
截面分析
芯片修补与线路修改
微纳结构制备
三维重构分析
原子探针样品制备

适用于金属、半导体、陶瓷、高温合金、芯片等材料的微纳加工，芯片解理以及透射电镜（TEM）制样

样品要求

导电性好，尺寸小于5cm，推荐尺寸0.5*0.5cm。不导电的样品需要喷金/铂处理。

结果展示

案例一：特殊结构加工

案例二：双窗口TEM样

案例三：微纳加工