SEMI F77

2024-07-08 

SEMI F77 用于腐蚀性气体系统的不锈钢表面的电化学临界点蚀温度测试的测试方法

项目介绍

点蚀是半导体输送系统主要的腐蚀失效模式,耐腐蚀性的定性和定量评估。

样品要求

提供5个样品(3个用于测试,2个备用),样品尺寸不小于1*1cm(最小测试面积1cm2)。尺寸不够需要报告中指出。最好供应商制备好样品,铝箔纸包装输送。第三方制样,先用清洁剂脱脂,去离子水冲洗,乙醇冲洗,吹干,测试,报告中需要指出。

1.仪器信息

2.测试程序

3.测试报告

 

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