SEMI F60 评估钝化 316L 不锈钢部件润湿表面的表面成分的ESCA试验方法

样品尺寸~1*1cm，表面干净，切割处理温度不超过50℃，铝箔纸包装，供应商直接制备好样品，如果不是供应商准备的直接用于测试的样品，样品可用去离子水清洗+干净空气/N2干燥，需要报告中指出。