SEMI F57 用于超纯水和液态化学品输送系统的聚合物材料及组件的规范文件

用于超纯水和液态化学品输送系统的聚合物材料及组件的规范文件。标准规定了在UPW分配系统中输送超纯水(UPW)的超高纯度(UHP)聚合物材料和组件的最低性能要求。

样品要求：

确保浸出液体积大于300ml。提供浸出液接触面积。提供浸出液体积。

1.SEMI F57测试项目

• 离子污染

• 金属离子污染

• 总有机碳

• 表面粗糙度

2.需测试的产品品类

3.规范限值要求