SEMI F73评估不锈钢部件润湿表面的扫描电子显微镜（SEM）测试方法

用于表征高纯气体输送系统的不锈钢部件的表面的微观表面缺陷（≥0.1μm）和污染的出现、频率、特征。适用于不锈钢管、配件、阀门以及其他组件。

样品要求

1.测试程序

2.测试报告