SEMI S2/S6/F - 西部科学城检测公共服务平台

专业从事半导体行业检测与技术解决方案，为千家用户解决产品测试与认证方面的问题。 We are a platform providing professional testing and technical solutions in semiconductor industry to over thousand customers.

EHS服务团队具备美国注册工业卫生师、国家中级注册安全工程师、国家一级注册消防工程师资质。 EHS service team members are qualified as Certified Industrial Hygienist (CIH) Certified Safety Engineer (CSE) and Level 1 Certified Fire Engineer (CFE).

Our Services

SEMI® S2 评估与认证/Evaluation And Certification According To SEMI ® S2

SEMI® S6 示踪气体测试/SEMI® S6 Tracer Gas Testing

SEMI® S2 开腔气体浓度测试/SEMI® S2 Air Sampling And Analysis When Opening Process Chamber

SEMI® S23 半导体工艺设备能效评估/Energy Utilities And Materials Use Efficiency Evaluation Of SME According To SEMI® S23半导体工艺设备工业卫生评估/SME Industrial Hygiene Evaluation

SEMI® 与设备EHS标准咨询与培训服务/SEMI® And Machinery EHS Standards/Guidelines Consulting And Training

SEMI® S13 技术文档编制/SEMI® S13 Technical Documentation Compiling

SEMI® F47 电压骤降测试/SEMI ® F47 Voltage Sag Test

SEMI® F57 洁净度测试/SEMI ® F57

样品要求
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认证程序
1、报价与商务合同签订 Quotation And Contract

1.1设备制造商填写认证信息表，提供设备基本信息与认证需求

1.2米格实验室根据资料提供报价

1.3合同双方签订商务合同

2、前期资料审核 Documentation Pre-Review

2.1设备文档准备（设备手册，电气原理图，零部件清单，P&ID等）

2.2米格实验室依据资料提出设备检测方案与部分资料缺失

3、现场初检 Initial Onsite Inspection & Testing

3.1设备制造商准备已调试完成的完整功能样机

3.2米格实验室依据SEMI® 标准条款进行结构、设计检查，并输出偏差报告

4、不符合项目整改 Improvement Implementation

4.1设备制造商依据偏差报告进行设计&现场整改、完善，并更新偏差报告

4.2米格实验室整改期间技术支持与整改方案确认终检前整改结果确认（远程），输出确认整改后偏差报告

5、现场终检 & 测试 Final Onsite Inspection & Testing

5.1米格实验室对改善结果进行现场检查 & 验证

5.2米格实验室进行现场电气 & 工业卫生测试

6、报告编写 & 证书发布

6.1技术文档与现场照片整理、归档

6.2SEMI® S2 认证报告编写

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