以电子束为光源，在加速电压的作用下，电子束经过镜筒聚焦，在试样表面做光栅状扫描，产生各种同试样有关的物理信息（如二次电子、背散射电子等），从而获得表征试样形貌、原子序数的扫描电子图像。该设备同时配有能谱仪（EDS）和750℃原位加热台，可对样品进行元素分析和室温～750℃之间原位热处理

可用于固体、粉末样品的表面形貌观察和元素分析，相变等材料变温性能研究