FIB-SEM双束电镜/PFIB 氙离子束

2024-07-04 

氙离子束,加工效率高,数十倍于镓离子束

样品要求:1.导电性良好;2.尺寸小于5cm

 

高温原位力学性能及EBSD变化分析

拉伸同时采集EBSD,观察高温拉伸下的晶粒变形及取向变化

1、试样:长60mm ,拉伸断面1mm*2mm,可对10~60mm长、厚度不超过5mm的样品进行拉伸试验

2、最大载荷:10KN

3、最高温度:800℃

4、拉伸速度:0.3µm/s~50µm/s

5、最大位移量:≥45mm

微观连续切片与3D重构

晶粒等组织三维重构

1、 尺寸:120um见方,片厚0.1um

2、连续切片上千片,<10min/片

3、每个切片:自动SEM,EDS,EBSD等采集

4、特点:全自动化

微纳加工与TEM样品制备

切削速度快、无Ga污染

大尺度、原位力学试验样品制备

EBSD样品制备(Spin Mill 摇摆切割)

 

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